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產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION
更新時間：2025-12-27 
瀏覽次數(shù)：172025年我司成功為國內(nèi)半導體Feb工廠，提供了高性價比且品質(zhì)優(yōu)異的ESC硅膠加熱裝置。
在此向大家介紹一下在半導體制程中的刻蝕（ICP&CCP），化學氣相沉淀等工藝中使用的靜電卡盤。該產(chǎn)品是一種利用靜電吸附原理固定晶圓的裝置，該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導體制造、平板顯示、LED 等領(lǐng)域。其次，我司定制的靜電卡盤硅膠加熱的本體采用高性能陶瓷材料，具有優(yōu)異的導熱性、絕緣性和耐腐蝕性。我們提供的日本制硅膠加熱膜可以在很短的時間內(nèi)實現(xiàn)卡盤的快速均勻升溫，對客戶的工藝生產(chǎn)起到了很好的促進作用。目前，我司已經(jīng)中標了幾個大型的國內(nèi)半導體晶圓加熱項目，并且實現(xiàn)了大批量靜電卡盤ESC硅膠加熱產(chǎn)品的定制化供應(yīng)鏈管理。
納加霍里科技（深圳）有限公司致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的半導體制程產(chǎn)品和工藝，包括封裝的膠水和金屬線，膜厚測試儀器等產(chǎn)品和技術(shù)。
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